太赫兹光束扩束器可以用于扩展或者缩小平行的太赫兹光束直径。两透镜伽利略望远镜系统组成的太赫兹扩束器在成像系统中可以提供低的像差水平。这些太赫兹扩束器都是衍射有限系统,从而降低了光束发散的影响。光束扩展器可以使得聚焦太赫兹光束至衍射极限的光斑尺寸,由此可以获得一束太赫兹光的功率密度最大值。
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