典型特性3D纳米扫描定位平台、中央孔径35mm、扫描速度快,精度高、标称运动范围80μm 产品应用扫描探针显微镜、原子力显微镜、光谱分析、FPD相关检查、光刻系统、曝光装置、定位测量
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