压电式定位调整台采用压电驱动的电机,在需要精确定位的场合中可实现亚微米级别的分辨率行程。除了内置编码器以维持可重复性,压电式定位调整台还采用了粘滑运动设计,能够完全扩展压电元件,在没有牺牲精确度或整体行程范围的情况下,使该调整台沿其行程的轴移动。线性定位调整台的移动速度可达每秒2mm,整个行程长度超过51mm。该旋转台利用两个预装的钢球轴承,每秒可转动6°以上,无限行程,且具有高阻滞力。
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