LM 系列精密位移平台采用高性能的Airex直线电机进行驱动,配备纳米级别分辨率的光栅反馈系统及先进的运动控制系统,兼顾了性能和可靠性双重设计之间的平衡。采用机械轴承的平台能够媲美采用气浮轴承的平台所能达到的精度水平。
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