支持 85523A CalPod 控制器的 1 个端口控制多达 12 个 CalPod 模块 一个 Calpod 控制器可使用多达 4 个 CalPod 控制电缆分路器 通过 4 个 控制分路器可控制多达 48 个 CalPod 模块 兼容热处理室和热真空舱
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