SID4 UV-HR利用其先进的四波横向剪切干涉技术,为紫外波前测量提供了优秀的解决方案。它有非常高的空间分辨率(250x250测量点)和高灵敏度(2 nm RMS)。这确保了UV镜头,表面和UV激光束测试的精确性,适用于光学元件表征(用于光刻,半导体...)以及表面检测(例如晶片检测)。由于它小巧,易于使用,能有效地适应各种实验条件。
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