‧ NIKON 独家的双 Y 轴光学尺,可校正载物台移动时可能会 造成的扭力变形,并改良光学尺的刻度。 ‧ 为了避免震动影响到量测结果的正确性, VMR-H3030 改良了机体的结构,增加了抗动性以减低震动对量测所造成的影响。 ‧ 先进的载物台的设计,对于 XY 方向移动所可能产生的额外应力,因而导致载物台不在原定光学尺的轨道上滑动,使得量测数据产生误差的六大因素,进行矫正预防措施。
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