本设备配备以下几个功能: 1. 只要放大光学像就能观察SEM像的Zeromag功能 2. 即使不切换到EDS模式也能知道图片视野中的元素的Live analysis功能 3. 可对SEM像进行3维观察的Live3D功能 如果在光学显微镜旁边放置一台JCM-7000,可以更快速、更详细地进行杂质分析和品质管理
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