XP-780 系列压电扫描台采用机构放大设计原理,柔性铰链连接支撑传动,内部采用高可靠性压电陶瓷驱动,实现X 轴最大 200μm 的位移,可以配置闭环传感实现高精度扫描与定位。压电平台具有 25mm×25mm 的通孔,适用于光学扫描。平台可以通过叠加转接的方式实现二维、三维运动。
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