现场高效球面检测干涉仪是一种高性能模块化组合检测干涉仪。它采用国内独特的组合式激光干涉模块作为核心部件,主要用于检测高精度快速球面和大曲率半径球面面形。通过模块化的设计理念,针对不同的光源、镜头口径、成像方式,不仅在测量过程中拆卸方便, 也可适用于多种被测面的测量,大大降低检测成本。
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