华工激光 LED紫外激光划片机采用优质紫外激光器、高精度工作台,其独特的光路设计可方便对位,实时观测的CCD图像处理系统能够满足外延片高速、高质的切割要求。该切割系统适用于LED蓝宝石衬底外延片的切割。产品具有定位精度高、聚焦光斑小、CCD同轴监视切割的特点,能满足LED蓝宝石衬底外延片切割工艺的要要求。
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