硅片承载器均以PFA树脂为原料制造而成。具有以上特点:耐强酸,强碱的腐蚀,不被极性很强的有机溶剂所溶胀,质地柔软,不损伤硅片,不粘污硅片,并与国外同类制品有良好的互换性,可在250℃各种介质中长期使用。与承载器相配的还有单梁2”,3“PFA提把,双梁2”、2.5°、3”、4”、5“PFA提把。
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