型号TF-1200X-Ⅱ-ZL产品概述TF1200XⅡ2L是款管可在炉管内部移动的(在真空气氛保护环境下移动)管式炉,最多可依次移动4个坩埚。 特殊的坩端推送机构,可将坩埚在炉管内推出盾再回,让坩埚能做往返移动。坩埚移动位置&炉体的温度控制都采用一触屏控制。此款设备可进行物理化学混合沉积( HPCVD),快速热蒸发(RTE)等实验,特别适台制音多层二晶体材科。
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