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智能双温区 PECVD系统
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产品品牌：
合肥科晶
交货周期：
现货
产品简介：
OTF-1200X-80-1-4CV-CMPE-SL产品概述TF-1200X-80-工-4 CV-CMPE-SL是传 PECVD与开发的智能画模块组合，可对传统 PECVD实现自动化升级可自由搭配各种系统控制合自定义CVD系统。是款骨动温区 PECVD管式护系统。该系统包含等高子射烦电源100mmCD1800mm的号动式双温区管式护，4通道质是流量供气系统和机械泵机组，可用于生长纳米或石季烯材
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合肥科晶材料有限公司
公司地址：
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