oTF-1200X-ⅡPEC4产品概述TF-1200 X-I-PEC4是款1200等离子蛋昆合物理化学气相积( HPCVD双温区回转炉系统。此系统由射频电源(带自动匹配功能)、上游原位蒸发舟、4通道质子流量计控制系统及性能优异的真空泵组成。此銮完整的设备适用于无机复合粉末的热处理及粉宋表面的均匀包夏(如:制督锂亳子电池阴极粉末的导电涂等
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