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滑动式双温区 PECVD系统
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产品品牌：
合肥科晶
交货周期：
现货
产品简介：
型号：
TF-1200X-Ⅱ4c√- E-SL-UL TF1200XⅡ4CV-PES是款动双温区 PECVD管式炉系统。该系统包含等离子射频电源，80mm D1800mmL的动式双温区管式炉，4通道质量流是供气系统和机械泵机组，可用于生长纳米或石里材
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