型号ALD-1200X-R-4 ALD-1200X-R-4是款4寸AD旋转管式系统,包含用于原子层沉积的2个ALD进气阅、1个精密液体气相发生器以及4通道质子星计控制系统,可利用此系统进行粉末表面的ALD和CVD包要。该系统简吉的设计使得更多的科研院所能够在可负担的低成本兄下实现ALD工艺实验
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