型号OTF-1200X-PLD产品概述TF-1200XPLD是款多吧就光混合卖化沉积管式炉,此款设音主要包括泥气装置,加热炉,基片热控体靶材测腔体和气压控制系统组成。可与准分子光器配合,进行脉中就光莱发,而且吧材腔体内可安装3块靶可依次对3中不同靶材进行就光脉中发。此款设备特别适台制作多元化台物薄。
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