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双通道ALD管式炉系统
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产品品牌：
合肥科晶
交货周期：
现货
产品简介：
型号产品概述ALD-1200X-4是款4英寸管式系统，包含用于原子层沉积的2个AD进气阀、1个精在液体气相发生器以及用于CVD生长纳米材料和膜材料的4通首质子济星计控制系统，该管式户系统管吉的设计使得更多的科研院所能在可负担的低成本青兄下实现ALD工艺实验
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