产品概述在一起的产品,有自动控制的样品台,就可使等高子枪按设走程序对样品表面进行更均匀涂夏和次理,保近处理样品表面的一致性和均匀性。此系统是由RF发生器气体传辅管、等高子枪头私XY移动的工作台(带有真空吸盘和控制盒)。此系统产生等高子束可在非真空和低温状态下活化和清先样品表面,可处理的样品有单晶片,光学元件和塑料等,也可在常压下进行等离子墙强气相沉积
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