型号UNIPOL-1203 UNIPOL-1203化学机械抛机,用于MP平坦化和化工芝技术,整机硏黁部分用防魔材料,耐化荨蚀,配置自动商料和精密害抛控仪,全自动摸弄亘板,从加工性能和速度上同时满定晶区等面型加工的需求
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