产品概述VTC10PA真空旋转涂貘机适用于半导体晶体、光盘制版等表面涂夏工艺。本机可用于强酸涂夏容液的涂制备。设备标配两个不同大小的真空吸盘,可根据样品尺寸不同选择不司的真空吸盘。VTC100PA真空旋转涂貘机工作时利用真空吸附的方式将样品定在载样盘上,该设备可储存12组程序,每组程字包含6个运行阶段。不司运行阶段设留转数不同,使设留爱俣提升速度至极哏速度,有利于漠莫材科在样品表面均勾成膜:且不会
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