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恒压控制系统
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产品品牌：
合肥科晶
交货周期：
现货
产品简介：
型号GZK-PID-VRD24/GZK-PID-103G产品概述这是款恒压控制系统，内部含抽速可达66u的双级旋片机械泵RD-24，通过D控制真空泵的转速来控制抽气速率，进而获得对腔室内压力的精密测量和恒压控制，配合分子泵FF10110，可进行分子泵工作横式和恒压工作横式两种工作状态切换，与我公司的管式、镀仪等留合，实现PD、CVD以及PECV等工芝的玉力恒定的精确控制。广泛应用于扩散氢化外延CD
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