长寿命准分子激光器EX5D是按照工业激光标准设计的35W高功率准分子激光器,具有紧凑的激光器结构和高达60亿次脉冲的寿命。可提供157nm(F2),193nm(ArF),248nm(KrF),308nm(XeCl),351nm(XeF)波长,脉宽8~12ns,重复频率250Hz/500HZ/1000HZ/2000Hz,248nm激光功率高达35W,193nm激光功率高达20W。
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