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晶圆热退火炉
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产品品牌：
孚光精仪
交货周期：
现货
产品简介：
这款晶圆热退火炉是半导体晶片惰性气氛快速热退火系统,适合晶圆的最大直径为100mm,晶圆通过上部快速检修门手动装入腔室，并放置在热补偿石墨台上。加热器系统基于线性卤素灯，位于炉体下方。这种设计确保了均匀的晶圆加热，沿晶圆表面具有红外发射的非均匀吸收（例如，具有成形金属拓扑结构的晶圆）。
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孚光精仪有限公司
公司地址：
Kuichong, Longgang, Shenzhen, ,P.R.China 龙岗区工业园
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