高精度真空位移台是专业为真空环境要求生产的真空电动定位台和电动真空位移台,采用适合真空度高达10^-6Torr的真空直流电机,所有的机械部件都使用高度真空润滑脂润滑,充分做到真空应用设计。行程范围有10mm, 20mm, 25mm, 30mm,整步分辨率0.1um,水平载重5kg,竖直载重1kg,宽度30mm。
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