前聚焦扫描振镜的开发是因两轴振镜受限于输出物镜的成本与大小,此限制有碍于在中等大小的扫描范围内产生较小光斑的功能。前聚焦扫描振镜满足客户对于小光斑大尺寸加工范围的应用要求,并允许用户在使用相同扫描振镜的状况下改变工作范围,距离和光斑大小。前聚焦技术也适用于移动物件的加工应用。在三维应用中,能够加工非平面物件或不光滑表面以及高功率产品。目前这些解决方案用于 Nd:YAG, 半导体和CO2激光器。
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