高压热电离Pirani真空计HPG 400将高压热电离技术与Pirani传感器整合在一个体积小、价格低的规管中,可测量2×10-6 mbar至大气气压(1.5×10-6 Torr至大气气压)范围内的压力.HPG 400提供高可重复性和再现性压力测量,实现精确控制镀膜溅射过程压力。
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